工廠防靜電技術要求 - 圖文 - 下載本文

防靜電基本考慮方式有①防止靜電產生;②對帶電體進行靜電泄露;③避免靜電放電(適量緩慢釋放)。

5.1.1 工廠環境

5.1.1.1 作為工廠環境內的防靜電對策的根本,應設置專用靜電接地線,并與設

備用接地線分離,在工程內單獨鋪設防靜電對策用的接地線。

5.1.1.2 在環境的溫、濕度方面應進行對策管理,溫度盡量控制在

15~30度,濕

度能控制在45~75%范圍,禁止在相對濕度低于30%的環境內操作SSD(靜電放電敏感器件)。

5.1.2 作業環境

對作業臺及作業椅子等工程內使用物品的基本對策是連接接地線,確保靜電的釋放路徑。在有帶電可能性的場所使用表面電阻率在104~109?之間的材料,并且與防靜電對策用接地線相連接。另外,盡可能不用不銹鋼板直接做為防靜材料。

5.1.3 作業者

作業者防靜電對策的基本是穿戴防靜電作業服、靜電手環和靜電鞋。通常情況下,人體和椅子及衣服摩擦、鞋與地面的摩擦等會產生數KV的靜電。防靜電工作服可以抑制帶電,并且可以通過靜電手環和靜電鞋接地,不對半導體放電。其中最基本的要求是工程上所有接觸半導體和基板的作業人員都應嚴格遵守各項規定。

5.1.4 部品收納

5.1.4.1 半導體部品單品的情況下,要求對靜電耐壓值以下的靜電實施抑制管

理。同時,除了對作業者進行防靜電對策之外還有必要注意用帶電防止袋收

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納部品。

5.1.4.2 基板實裝結束的部品因為回路設計時進行了對策,部品單品的靜電耐壓

值有提高,這是事實。但是,如果使用沒有進行靜電對策的周轉箱就很容易帶上數KV的靜電,所以有必要使用靜電對策材料的周轉箱。

5.1.5 設備、治具

5.1.5.1 對設備、治具的靜電對策基本上與作業臺和作業椅的對策相同。也就是

說,在有帶電可能性的場所,應使用表面阻率在106~109 ?范圍內的材料,設備與設備用接地線連接,治具與靜電對策用接地線相連接。

5.1.5.2 傳送帶本體及回轉部分應與接地線連接,無法連接的部分應用除電刷等

進行除電。

5.1.5.3 焊烙鐵、電氣螺絲刀使用

3芯型的,若用2芯的話要與接地線連接。由

于計測器、CRT面板前也會產生靜電,所以希望進行帶電防止過濾和帶電防止氣噴等對策。另外,也會有看漏的點,所以在治具設計時應特別注意選擇防靜電的材料。

5.1.6 除電器(靜電消除器)

對絕緣體來說,靜電接地對防靜電基本上沒有作用的,即使進行了接地電荷也不會移動。因此帶電的塑料和外殼工程除電,以及其他接地無法對策的情況,需使用靜電消除器。另外,如果使用表面電位計檢查工程帶電狀況后,若接地也無法取得良好除電效果,可考慮導入靜電消除器。靜電消除器應能消除任何一種極性的電荷,并在其有效防護區域內使靜電位保持在規定值以內,中和能力應優于±250V/S,一般配置離子風扇,中和能力控制在1000V中和至100V的時間在2秒以內。

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5.1.7 測定

5.1.7.1 測定電位:為了確認各種對策的效果,使用表面電位計測定電位。雖然

有必要精確測定帶電物體的電荷,但因為這種測定比較困難,所以現在一般較廣泛采用的是電位測定,對工程中使用的作業臺和作業椅、周轉箱和插板、作業者等的帶電電位進行測定。

5.1.7.2 測定電阻:測定接地間的阻值,確定接地點的阻值在小于

2 ?。

5.1.7.3 測定電阻率:在購入防靜電周轉箱和防靜電服等防靜電配置時,要進行

測定表面電阻率。

5.1.8 管理

靜電防護區標記,希望使用“靜電對策標記”并有效區別靜電對策與非靜電對策品的區別。

5.2 個別靜電對策

●表示需強制實施項目 ○表示一般的項目,非強制項目

△表示重點項目,是指對工程上有帶電電位絕對值在100V以下的設計必要的場所進行估計并區分。

區分 境 實施對象 加濕 作業床 作業環作業臺 境 作業椅 臺車 實施內容 靜電對策用接地線的設置 加濕器濕度控制 導電墊、不銹鋼鋼板的鋪設及接地 導電墊的使用和接地 對策椅子的導入和金屬鏈子的接地 類別 ● △ ● ● △ △ 工廠環基本接地 11

金屬鏈子和導電輪的接地 防止帶電作業服的穿著 工作服 靜電手環的配戴和接地 ● 作業者 靜電手環 靜電鞋、防靜電腳環的穿戴與● 靜電鞋 接地 △ 手套、腳套 防止帶電手套、導電性指套的△ 戴用 部品放置架 導電墊的使用及接地 防靜電周轉箱、隔板的使用和● 部品收周轉箱 接地 ● 納 部品箱 ● P板基板箱 防靜電對策品的使用和接地 ● 包裝 防帶電基板箱的使用與接地 使用防帶電包裝材料 ● 設備 傳送帶 防帶電 ● CRT計測器面防止計策器、CRT帶電 蓋 3芯與2芯型的使用與接地 △ 烙鐵頭 螺絲刀本身的接地 ● 治具 電氣螺絲刀 作業指導書套的帶電防止與接○ 作業指導書套 地 △ 離子噴槍 離子噴槍的定期檢查確認 ○ 治具材料 樹脂材料等非帶電材料的使用 ○ 金屬治具 金屬治具的電流限制和接地 ○ 用離子發生器除去絕緣體帶電 △ 除電 離子發生器 離子發生器的選定 △ 離子發生器的設置和保養管理 △ 用表面電位計進行帶電電位測帶電電位 定 △ 測定 接地間阻值 根據絕緣電阻計及電極測定阻△ 表面阻率 值 △ 根據絕緣電阻計及電極測定阻12

值 人體阻值 管理 人體阻值 地下接地線 對策品 5.3 芯片燒錄室

靜電手環的導通及阻值測定 穿靜電鞋時的阻值確認 D種(100?以下)接地阻值確認 靜電對策記號的識別 ● ○ ● ○ OPT與貼片室SMT的防靜電等級為A級防靜電等級,其工作

場所必需做好防靜電標識。

5.4 從事有可能接觸靜電敏感器件的新員工,必須進行防靜電知識培訓,并記

錄存檔。

5.5 進行入

A級防靜電區域時,必須進行防靜電對策測量。

5.6 靜電放電防護標記

靜電敏感工作區標記1 靜電敏感保護區標

記2

5.7 防靜電檢查表

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防 靜 電 檢 查 表 檢查部門: 編制: 審核: 檢查日期: 確認項目 結果 備注 13





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